旭硝子、半導体フォトマスク原版を増産 最先端7ナノの量産を見据えて
旭硝子は5日、EUV露光用フォトマスクブランクス(EUVマスクブランクス)の供給体制を、グループ会社であるAGCエレクトロニクス において、本年より大幅に増強することを決定したと発表した。
02/09 05:13
