ギガフォトン、先端半導体パッケージ用加工向けエキシマレーザーを日本国内企業に設置
ギガフォトン、PLD装置向けエキシマレーザの研究開発を加速
ギガフォトン、九州事務所を竣工し日本国内サービス体制を強化
NEDO(国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構)、ギガフォトン参画のプロジェクト成果を発表
ギガフォトン、先端半導体パッケージ用加工向けエキシマレーザーを米国に設置