MEMSの研究開発トレンドと最前線（4）

*15:46JST MEMSの研究開発トレンドと最前線（4）

４．MEMS研究の最前線

現状とくに研究開発が活性化しているMEMS研究領域について、クラスター解析結果をメッシュ分割し、新規に活性化している領域の抽出を行った。評価はメッシュ内での2010年以降の論文の割合、および2008年から2012年までの論文数の伸び（最小自乗近時による傾き）で行った。2010年以降の論文がメッシュ内の70％以上であり、かつ2008年以降、論文数増加の傾きが１以上の領域を抽出した結果をFig.3に示す。近年活性化している領域としては図に示したA～Fの領域がある。
（A）グラフェンのMEMS応用
（B）ナノ共振器
（C）形状に特徴のある共振器
（D）GNSSナビゲーション
（E）エネルギーハーベスティング
（F）超音波トランスデューサ

近年研究開発が活性化しているMEMSについて見ると、一つは可動部分の構造制御（ナノ化、構造による特性制御）、エネルギーハーベスティングといった従来とは異なる応用、医療等における埋め込み型センサなどがある。またナビゲーションに見られるような、MEMS自体の深化ではなく、他のシステムとの組み合わせやデータ解析の高度化なども見られる。

クラスター解析を活用した技術開発動向分析
【執筆】株式会社　創知《FA》