MEMSの研究開発トレンドと最前線（2）

*15:44JST MEMSの研究開発トレンドと最前線（2）

２．MEMS関連論文のクラスター解析

MEMS研究開発の動向を俯瞰する手法として、ここではクラスター解析による類似度評価および二次元可視化手法を用いた。なお、クラスター解析には論文タイトルおよび要約情報のみを用いた。MEMS関連学術文献のクラスター解析結果をFig.1に示す。図には主だった密集領域の内容を特徴語等を用いてアサインした結果を合わせて示した。

MEMS研究開発に関しては大きく分けて光応用、電気・電子、運動量、流体応用、加工、そして機械特性と大きく分かれている。光応用では、例えばミラー駆動のほか、MEMSで動作するフォトニック結晶などがある。電気・電子ではスイッチ、アンテナ、共振器などが多い。運動量に関連する技術ではジャイロや加速度計などがあり、そのアウトカムとしてのナビゲーションが見られる。また流体と運動量の中間的な位置に圧力センサなどが現れている。流体ではマイクロ流体や燃料電池などがある。加工ではウェハボンディングとエッチングが多い。機械特性では応力や摩擦などがある。

クラスター解析を活用した技術開発動向分析
【執筆】株式会社　創知《FA》