MEMSの研究開発トレンドと最前線（3）

*15:45JST MEMSの研究開発トレンドと最前線（3）

３．MEMS研究のトレンド

MEMSの研究開発がどのように推移しているかをクラスター解析により可視化した結果がFig.2である。なお、ここでは面積当たりの密度で色分けした、いわゆるカラーコンター表示を用いている。

MEMS研究の立ち上がり時期に相当する1999年までは機械特性（図中A）、エッチング（B）および光スイッチを含むミラー関連の研究（C）が比較的多い。その後2000年頃からプラズマエッチングやウェハボンディングといった加工技術（D）が活性化してくる。また応用では光関連応用に加え、加速度計や圧力センサ（E）、バルブ等流体制御（F）など、広範囲に活性化してくる。2006年以降では光応用は減少し、スクイズ膜応用（G）やスイッチ/アンテナ（H）といった電気電子応用が活性化する。2009年以降は共振器関連の応用が顕著になる。加えて加速度計やナビゲーション、燃料電池、エネルギーハーベスト（J）も活性化する。2012年以降になるとスイッチが減少し、共振器、膜応力（K）が多くなる。

クラスター解析を活用した技術開発動向分析
【執筆】株式会社　創知《FA》