ギガフォトン、EUVパイロット光源にて稼働率80%以上のポテンシャルを確認

半導体量産工場へのEUV露光装置の適用に向けて大きく前進

（栃木県小山市）- （ビジネスワイヤ） -- 半導体リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社は、現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ（LPP）光源について、最先端半導体量産ラインでの稼働を想定したパイロット光源^注） にて量産実現レベルである、稼働率（availability）80%以上のポテンシャルを確認したと発表しました。

ギガフォトンは今春、現在開発検証中のEUVパイロット光源にて、ダミーコレクターミラーを搭載した模擬試験を2週間にわたり実施したところ、稼働率（availability）64％という結果を得ました。パイロット光源の動作状況の内訳は、稼働・待機時間64%、休日・夜間等による停止時間25%、その他メンテナンス等による停止時間11%というものであり、これは休日、夜間等も停止せずに稼働させたと仮定すると、ポテンシャルとして、稼働率（availability）80%以上と同等であるといえます。

ギガフォトン代表取締役副社長兼CTOである溝口計氏は、次のようにコメントしています。　 「最先端半導体量産ラインでの稼働を想定したパイロット光源で、稼働率80%以上のポテンシャルが確認できたことは、EUV光源の市場導入がさらに近づいたことを示しています。我々は引き続き量産実現を目指して、高稼働高信頼性を実現するEUV光源の開発を進めます。」

^注）ギガフォトンがEUVリソグラフィ量産工場対応仕様にて設計した光源。別名称「高出力実証機」

*本件は、国立研究開発法人「新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）」の助成プログラムの成果を活用しています。

ギガフォトンについて

2000年設立以来、ギガフォトンはレーザーサプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンの、特許を取得した革新的技術であるLPP EUVソリューションは、費用対効果と生産性に優れた量産向けEUVスキャナーの実現に向けて先導的役割を果たしています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細についてはwww.gigaphoton.comをご覧ください。

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