富士フイルム、有機半導体用フォトレジスト技術を利用したフルカラーOLEDの動作を実証

　富士フイルムとナノエレクトロニクス技術研究の先端的な研究機関であるベルギーのimecは2日、両者が開発したサブミクロンオーダーのパターン形成が可能な有機半導体用フォトレジスト技術を用いて、フルカラーの有機発光ダイオード（OLED）を作製し、その動作実証に成功したと発表した。

　富士フイルムとimecは、2013年に大型基板上で高解像度パターニングができるフォトリソグラフィー方式で、有機半導体材料へダメージを与えずにサブミクロンオーダーのパターン形成が可能な有機半導体用フォトレジスト技術を開発した。

　新技術は、既存のi線露光装置を使用でき、新たな設備投資が不要であるため、コスト効果に優れた高解像度の有機半導体デバイスの製造が期待できると、開発発表以降、多くの注目を集めているという。

　今回、両者は、有機半導体用フォトレジスト技術を用いて、フルカラーのOLEDを作製し、その動作を実証した。赤・緑・青の有機EL材料をそれぞれ20μmのサブピクセルピッチでパターニングし、フルカラーOLEDを作製。

　さらに縦40個、横40個に配列して高解像度640ppiのOLEDアレイを作製し、それにUV光を照射した試験を行ったところ、赤・緑・青の各色が分離して発光することを確認した。

　また、光を照射せずに電圧をかけた試験でも、赤･緑・青の全色の発光を捉えることができ、正常に動作することを確認した。