サイバーオプティクスが新しいParticleSpectrum™ソフトウエアを搭載した次世代浮遊微粒子センサー（APS3）を発表

歩留まりとツール稼働時間を改善するために世界中の半導体工場で広く採用されている有力な浮遊微粒子検知技術を前進

（ミネアポリス）- （ビジネスワイヤ） -- 高精度3D検知技術ソリューションを開発・製造する世界一流企業のサイバーオプティクス・コーポレーション（NASDAQ：CYBE）は、新しいParticleSpectrum™ソフトウエアを搭載した当社の次世代300mm浮遊微粒子センサー技術（APS3）のデモを、1月31日～2月2日にソウルのコエックスで開催されるセミコンコリアで実施することを発表します。ブースはA418番です。

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WaferSense(R) 浮遊微粒子センサー3（APS3）（写真：ビジネスワイヤ）

サイバーオプティクスのWaferSense® APS3は浮遊微粒子をリアルタイムで無線により検知・同定・モニタリングすることで、半導体工場における装置の設定を迅速化し、長期的な歩留まりを向上させます。サイバーオプティクスの浮遊微粒子センサーは「最もよく知られた手法」（BKM）として文書でも紹介されており、最大で90%の時間節約、95%の経費削減、最大で20倍のスループットを従来の表面スキャンウエハー法と比べて半分の人材で実現することを実証済みです。

APS3測定装置はさらに薄型・軽量化して半導体ツールへ容易に導入できると同時に、世界中の装置・プロセスエンジニアが評価する業界有数の精度と感度も実現しています。APS3ソリューションはParticleSpectrumソフトウエアを搭載しています。これは完全に新しいタッチ式インターフェースとしてユーザーに配慮した機能性を持っており、小型から大型の浮遊微粒子のデータをリアルタイムで読み取り、記録して、検討することを簡素化にします。

サイバーオプティクス社長兼最高経営責任者（CEO）のSubodh Kulkarni博士は、次のように述べています。｢世界中の半導体工場と装置製造のOEMは当社の実績のある浮遊微粒子検知技術を頼りにしており、歩留まりを大きく改善してきました。今回、当社は装置をさらに薄型・軽量化して、その簡素性でエンジニアを喜ばせること間違いなしのソフトウエアパッケージであるParticleSpectrumを付けました。｣

サイバーオプティクスはセミコンコリアで、フラットパネルディスプレー（FPD）市場向けに設計した新たな浮遊微粒子センサーも公開します。

WaferSenseおよびReticleSenseのラインについて

WaferSense測定ポートフォリオには、自動水準測定システム（ALS）、自動ギャップ測定システム（AGS）、自動振動測定システム（AVS）、自動教示システム（ATS）、浮遊微粒子センサー（APS）、新しい自動マルチセンサー（AMS）が含まれ、150mm、200mm、300mmのウエハーサイズを含め、デバイスに応じて多様なウエハー型のフォームファクターで提供しています。浮遊微粒子センサー（APSR & APSRQ）、ReticleSense自動水準測定システム（ALSR）、自動マルチセンサー（AMSR）を含むReticleSense測定ポートフォリオは、レチクル型のフォームファクターで提供しています。

サイバーオプティクスの全ソリューションラインアップの詳細情報については、www.cyberoptics.comをご覧ください。

サイバーオプティクスについて

サイバーオプティクス・コーポレーション（NASDAQ：CYBE）は高精度センサー技術ソリューションの開発・製造で世界をリードしています。サイバーオプティクスのセンサーは、多目的計測、3Dスキャニング、表面実装技術（SMT）、半導体の市場で、歩留りと生産性を大幅に改善するために利用されています。サイバーオプティクスは当社の最新鋭技術を活用して、高精度3Dセンサーの世界的リーダーとしての地位を戦略的に確立し、重要な垂直分野への進出拡大を実現しています。ミネソタ州ミネアポリスに本社を置き、北米・アジア・欧州の施設を活用して世界規模で事業を展開しています。

当社が期待する性能に関する記述は将来見通しに関するものであり、従ってリスクと不確実性を伴います。これらのリスクおよび不確実性には、世界のSMT／半導体資本設備産業における市況、当社製品、とりわけ3D MRS-対応AOIシステムの注文・出荷の時期、当社製品、とりわけSMTシステムの売上高をめぐる価格競争および価格圧力の激化、当社OEM顧客からの発注レベル、顧客からの発注に対処するために必要な部品の可用性、製品開発上の予期しない課題、世界的出来事が当社の売上高（その大部分は海外顧客によるもの）に及ぼす影響、電子機器市場における技術の急速な変化、競合他社による製品投入とその価格設定、当社の3D技術事業における成功、CyberGage360での成功、米証券取引委員会に当社が提出した書類で記述された他の要因が含まれますが、これらに限定されません。

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CyberOptics
Carla Furanna, 952-820-5837
cfuranna@cyberoptics.com

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