サイバーオプティクスが歩留まりを高めて稼働停止時間を短縮するための相対湿度リアルタイムモニタリングソリューションを紹介

サイバーオプティクスが歩留まりを高めて稼働停止時間を短縮するための相対湿度リアルタイムモニタリングソリューションを紹介

（横浜）- （ビジネスワイヤ） -- 高精度3Dセンサー技術ソリューションの開発・製造で世界をリードするサイバーオプティクス・コーポレーション（NASDAQ：CYBE）は、2016年4月6〜8日に横浜で開催される第23回ホトマスク技術展示会で発表と展示を行います。

サイバーオプティクスのフィールドアプリケーションエンジニアのハヤシ・ユキノブが、4月7日（火）の17:10〜19:00にポスタープレゼンテーションを行い、「レチクルのヘイズ効果を低減するための液浸スキャナーレチクル環境における湿度モニタリングの最優良事例」について検討します。

ハヤシは、次のように述べています。｢液浸スキャナーにおける相対湿度を効果的にモニタリングすることは不可欠ですが、それは湿度を測定・制御するために適切な対策が取られないとヘイズによる悪影響が生じるためです。｣

サイバーオプティクスのReticleSense^®自動マルチセンサー（AMSR）はレチクル環境のあらゆる位置で湿度を測定し、水がレチクルに暴露している場所すべてを検出できます。湿度のモニタリングはレチクルのヘイズを低減する上で必須です。ヘイズはマスク残さ、193nm光、水の組み合わせによって引き起こされるもので、レチクルに悪影響を及ぼします。AMSRは相対湿度の測定に加え、振動測定と水準測定にも使用できますが、これらすべてが歩留まりを高め、稼働停止時間を短縮する上で重要な要因です。

WaferSenseおよびReticleSenseのラインについて

WaferSense測定ポートフォリオには、自動水準測定システム（ALS）、自動ギャップ測定システム（AGS）、自動振動測定システム（AVS）、自動教示システム（ATS）、浮遊微粒子センサー（APS）が含まれ、200mm、300mm、450mmのウエハーサイズで提供しています。またAPSとALSの両方を、150mmサイズでも提供可能です。ReticleSense浮遊微粒子センサー（APSR）、ReticleSense自動水準測定システム（ALSR）、そして新しいReticleSense浮遊粒子センサークオーツ（APSRQ）の製品は、レチクル型のフォームファクターで提供しています。

サイバーオプティクスの全ソリューションラインアップの詳細情報については、当社ウェブサイト（www.cyberoptics.com）をご覧ください。

サイバーオプティクスについて

サイバーオプティクス・コーポレーション（NASDAQ：CYBE）は高精度センサー技術ソリューションの開発・製造で世界をリードしています。サイバーオプティクスのセンサーは、多目的計測、3Dスキャニング、表面実装技術（SMT）、半導体の市場で、歩留りと生産性を大幅に改善するために利用されています。サイバーオプティクスは当社の最新鋭技術を活用して、高精度3Dセンサーの世界的リーダーとしての地位を戦略的に確立し、重要な垂直分野への進出拡大を実現しています。ミネソタ州ミネアポリスに本社を置き、北米・アジア・欧州の施設を活用して世界規模で事業を展開しています。

当社が期待する性能に関する記述は将来見通しに関するものであり、従ってリスクと不確実性を伴います。これらのリスクおよび不確実性には、世界のSMT／半導体資本設備産業における市況、当社製品、とりわけSMTシステムの売上高をめぐる価格競争および価格圧力の激化、当社OEM顧客からの発注レベル、顧客からの発注に対処するために必要な部品の可用性、製品開発上の予期しない課題、世界的出来事が当社の売上高（その大部分は海外顧客によるもの）に及ぼす影響、電子機器市場における技術の急速な変化、競合他社による製品投入とその価格設定、当社の3D技術事業における成功、米証券取引委員会に当社が提出した書類で記述された他の要因が含まれますが、これらに限定されません。

すべての名称は各企業の商標です。

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lisa@graupr.com
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