東大、アクリルと水だけでガラスやシリコン表面を平坦化　低コストで実現

2022年3月12日 08:56

東京大学がアクリル板と水道水だけでガラス表面とシリコン表面を平坦化するという研磨技術を開発したそうだ。低コストかつ環境負荷も低いのが特徴とされている（東京大学プレスリリース、リリース[PDF]、Applied Physics Letters、マイナビ）。発表によれば、ガラス表面とシリコン表面を原子レベルで平坦化できる。現状のシリコンウェハの平坦化やレンズ製造時のガラスの平坦化では、薬液が用いられているがレアアースを含んでいたり、環境に有害な薬液を用いている。研究チームは二酸化ケイ素微粒子を用いた研磨に関する研究を行っている際、アクリルの微粒子を導入したところ、SiO2微粒子がなくてもガラスの加工ができることを偶然に見つたものだそうだ。樹脂材料にはいろいろな種類があるが、ガラスを加工できる汎用的なものはアクリルのみであることも分かってきたとしている。　