液体シリコンから半導体素子を作ることに成功
2011年2月8日 17:57
774THz 曰く、
北陸先端科学技術大学院大学（JAIST）の下田達也教授らの研究グループが科学技術振興機構の課題解決型基礎研究の成果として、液体シリコンを用いた塗布プロセスによる太陽電池の製作に成功したことを発表した（JAISTのプレスリリース）。液体シリコンとは聞き慣れない言葉だが、シリコンと水素が結合した常温常圧で液体状のシリコン化合物（シクロペンタシラン）のこと。太陽電池を形成するプロセスの基本は、液体シリコンを基板に塗って加熱するだけ。残念ながら現時点では太陽電池としての性能はまだプラズマCVDを用いたものには及ばない。
しかし液晶パネル用のアモルファスTFT（薄膜トランジスタ）の製造への適用可能性もあるということで、なかなかインパクトのある技術ではないかと思われる（CVD不要でTFTを作れればすごい）。
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