三菱マテリアル四日市工場の爆発事故、クロロシランポリマー類の構造が判明

　今年1月、三菱マテリアルの四日市工場で爆発が発生し5人が死亡、13人が重軽傷を負うという事故が発生した（朝日新聞）。多結晶シリコン製造プラントの熱交換器を洗浄するためふたを外したところ爆発が発生したというもので、重さ約200kgのふたが10mほど吹き飛ぶという激しいものだったようだが、12日、この事故の調査結果が公表された（伊勢新聞、報告書PDF、報告書要約版PDF）。

　事故原因は熱交換器内のクロロシランポリマー類が加水分解されてできた生成物が衝撃で爆発したとのこと。さらに、この生成物は低温・乾燥状態で爆発力が大きくなるという特性があり、そのため被害が大きくなった模様。また、爆発によって内部のクロロシランポリマー類が飛散してそれが燃焼しファイアボールを形成したという。

　クロロシランポリマー類の加水分解生成物については、その発火・爆発危険性や生成過程、加湿処理条件について十分かつ正確な既知の化学的情報がなかったという。そのため、リスクアセスメントが不十分だったともされている。

　なお、クロロシランポリマーについては爆発しやすいので誰も分析しようとしなかったが、その性質の一部がこれで明らかになったという話もある。

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